【网站舆图】【sitemap】
产物中心 推动智能制造工业升级，做天下一流的智能装备

VP-10S全自动真空等离子洗濯机（有待料区）

产物特点:

装备系统支持多个版本(PLC/PC)，支持主流多种通讯协议； 

装备依SEMI清静生产尺度设计生产； 

通道设计产能高，UPH400~550pcs； 

适用多种产物尺寸及弹夹；

MFC晶圆级专利设计，防止气体走漏引发清静事故(可使用氢气等高危气体）； 

腔体高密封专利设计最高可达 5pa以内； 

水滴角<10°(与清洁外貌材质相关)； 

四通道设计，同时处置赏罚4个产物，设置双下电极，节约收支板时间，效率大幅提升，保证处置赏罚产物均性。

手艺规格:
功效设置手艺参数
装备尺寸长X宽X高(mm)L1600 xW1150 XH1700
净重(kg)1000 
装备周边间隙(mm)后面600,双方600
腔体容积(L)约9
通道(条)4 
下电极(块)2(待料功效)
上料方式弹夹
顺应产物尺寸(mm)宽度：40-100长度：150-300
电极电极尺寸(mm)528×300
射频电源尺度功率(kW)1 
频率(MHz)13.56 
气体控制最多支持三路标配2路，可选配3路
控制系统人机界面PC+触摸显示屏
远程接口通讯选配
真空泵可选干泵17CFM
可选油泵195CFM
可选带吹扫功效干泵YES
氮气吹扫流量(SLM)2 
抽真空时间(S)10-15
破真空时间(S)3-4
厂务设施电源三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵)
工艺气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
工艺气体纯度工业级及以上
工艺气体压力(psig)10-20
吹扫气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
吹扫气体纯度工业级及以上
吹扫气体压力(psig)15 
气动阀门管路尺寸&类型10mm push-in fitting
气动气体纯度压缩空气，无油，露点≤7℃,颗粒<5
气动气体压力(psig)70-90
压缩空气排气管路(mm)中8
合规认证SEMI
辅助装备氮气发生器(可选)有氮气吹扫功效需求时选配
水冷机(可选)设置冷却功效电极时选配
氢气工具包(可选)使用氢气举行处置赏罚时选配
尾气处置赏罚机(可选)含氟气体处置赏罚时的尾气处置赏罚选配
运输总重量(kg)1050 
包装件数1 
包装切合SPM15尺度YES
上一篇：没有了！ 下一篇：VP-10L等离子洗濯机

德赢

广东德赢智能装备股份有限公司
总部地址：广东省东莞市寮步镇向西东区路17号
友谊链接：
德赢香港官方
德赢美国官方
Copyright ?2017 - 2024 广东德赢智能装备股份有限公司 手艺支持：东莞一奇科技
粤ICP备09033347号

粤公网安备 44190002004553号

扫一扫关注德赢
X
5

电话号码治理

  • 400-660-7690

    • 电话

5

电话号码治理

  • 13580817270

    • 手机

6

二维码治理

    • 微信

6

二维码治理

    • 民众号

6

二维码治理

    • 抖音

X
返回顶部
睁开
【网站舆图】【sitemap】

请留下您的名贵意见

德赢会重视并一直刷新

客户反馈留言信箱
【网站舆图】【sitemap】